半導体業界向け製品情報

半導体業界向けタンクの事なら深堀テクニックスへ

新分野展開でお客さまのご要望にお応えします。

About product

製品について

半導体向けタンク

半導体製造で使用されるフォトレジストやエッチング液、また液晶パネル製造に使用する液晶材料などは非常に高価な液体です。これらはいずれも製造工程で必要不可欠な薬液であり、生産や運搬をするためには高スペックな容器が必要となります。

こだわり

半導体や液晶パネルなどの製造工程では、純度の高い薬液を使用しています。純度の高い薬液は当然高級であり高価です。そのような薬液を入れるタンクは、薬液の品質を落とさないようクリーンな状態を保てる、高スペックなタンクでなくてはなりません。これらはいずれも製造工程で必要不可欠な薬液であり、生産や運搬をするためには容器が必要となります。その為にタンクの内面に『電解研磨』と言う表面処理を行います。

電解研磨とは、電気と薬品（電解液）の力によって金属の表面を溶かして研磨する方法です。高級な液体を取り扱うタンクにするためには、電解研磨は欠かせない表面処理となります。また、ご要望により精密洗浄とPS 洗浄にも対応可能です。精密洗浄とはアルカリ剤と超純水を使用した洗浄です。脱脂洗浄力が通常の浸漬脱脂より優れています。PS 洗浄とは、ピュアー(Pure) な蒸気(Steam) を使用して洗浄する方法です。

Tank specifications

半導体向けタンクの仕様

SUS304/SUS316/SUS316L、内面＃400 バフ研磨、電解研磨、フッ素樹脂ライニング

貯蔵タンク

半導体製造で必要な高価な液体の貯蔵タンクは必須です。液剤メーカー様からユーザー様へ高純度薬液を供給する際には、丈夫でクリーン、加圧もできるステンレスタンクが最適です。内容物・必要なスペックや容量等ご要望にお答えします。

フッ素樹脂ライニング（内面処理）

フッ素樹脂ライニングとは、フッ素樹脂が持つさまざまな特性（非粘着性や撥水性、すべり性に優れ、薬品に強く、高い耐熱温度を持つ、耐酸性など）を部材の表面に与えることで、くっつき・粘着の防止、摩擦の低減、部材の保護などを実現する表面処理です。

電解研磨（内面処理）

電解研磨は研磨面が高温になることが無いため熱膨張による変形を受けることがありません。また、平滑性にすぐれ、ステンレスの通常の表面よりもクロムが濃縮されているなどの理由により、強固な不動態が形成され耐食性に優れています。また表面を溶解させながら研磨するため、ステンレス表面の汚染物・油分は処理中に除去され、しかも平滑性に優れた研磨面は新たな汚染物が保持されにくいため、清浄性に優れています。